微小尺寸測(cè)量是一個(gè)正在迅猛發(fā)展的領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,對(duì)微小尺寸的測(cè)量要求越來越迫切。很多相距很遠(yuǎn)的科學(xué)部門,從機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)到生物工程以及環(huán)境保護(hù)等;從尖端科學(xué)的熱核反應(yīng)到日常生活中的化學(xué)纖維,都有微小尺寸測(cè)量問題。而要求進(jìn)行微小尺寸測(cè)量的物體,從尺寸、幾何形狀和作用來說也是各種各樣的。球面型的物體包括制導(dǎo)系統(tǒng)的毫米級(jí)大小的軸承,激光核聚變中的100m的玻璃小球,化學(xué)處理10ym的小滴,涂層和血液分析中亞微米級(jí)聚合物,以及造成各種污染的大量不規(guī)則的01-100m的粒子。平面型物體包括微米大小的集成電路元件、電子束刻劃的001pm量級(jí)的電子器件中的元件、磁泡記憶器等裝置中的亞微米線條、磁頭繼隙以及電子束、激光或其他方法加工的直徑小到1m的尺寸等。盡管微小尺寸測(cè)量的對(duì)象各種各樣,測(cè)量方法也不盡相同,但這類測(cè)量?jī)x器的共同特點(diǎn)是:測(cè)量范圍小,分辨力及精度要求高,自動(dòng)化程度要求高,因此難度大。

隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展,產(chǎn)品的小型化或微型化越來越成為一個(gè)重要分支,因而微小尺寸的測(cè)量越來越多;被測(cè)對(duì)象也多樣化。如細(xì)絲、小孔、小球面、鍵層厚度、計(jì)算機(jī)中磁頭一磁盤間的微小間隙等等。面對(duì)這些測(cè)量任務(wù),迫切地要求提出新的測(cè)量原理和方法。